1.可应用于晶圆腐蚀、去胶、显影、金属剥离、刻蚀、清洗、干燥等工艺。 2.机构组成，壳体，机械手，供酸系统， 旋转机构，供气系统和回收系统。 3.兼容多规格晶圆：2、4、6、8、12寸或1/4、1/2片等，灵活适用各规格晶圆的工艺要求； 4.通过模块化设计，可单腔试验、中试、生产，也可多腔并列或多腔串列生产。 5.可人工上片，也可实现自动上、下片。